一种具有多级结构的研磨抛光盘

本发明涉及一种具有多级结构的研磨抛光盘，适用于光学元件、非晶薄膜衬底等工件表面的研抛加工，它包括研磨抛光盘、滑台、工件安装轴和工件安装头，滑台装在研磨抛光盘的上方并可以沿着水平方向移动，工件安装轴装在滑台上；研磨抛光盘上设有多层环形的挡板，挡板将研磨抛光盘从内到外分成多个环形区域，磨料涂覆于环形区域内，环形区域内磨料的粒度由外至内逐渐增加。本发明结构简单紧凑，成本较低，自动化程度高，通过控制每一圈的磨料粒度，可以对工件进行不同程度的加工；在加工的过程中利用无摩擦气缸给工件施加恒定的向下的力，根据工件不同的加工阶段自动调节施加的压力，提高了工件加工质量并且减少了人为因素对加工质量的影响。