一种二元流体配比混合装置

本发明提供了一种二元流体配比混合装置，包括阀体、温度调节装置、混合装置、压力调节装置、流量调节装置，所述阀体由上腔和下腔构成；温度调节装置安装在上腔内，混合装置位于阀体下腔内部，压力调节装置装于混合装置的两端与下腔之间，流量调节装置用于控制一侧的气流量大小，实现对二元气体体积配比的控制。本发明能够实现流体的温度补偿、混合，配比和流量连续可调。结构紧凑，省略了多个流量计和比例阀或者流量控制器，减少部件数量，简化了流体配气系统的结构，降低成本。