等离子体状态时间特性探测设备

等离子体状态时间特性探测设备，涉及毛细管放电Z箍缩获极紫外光的光源技术中等离子体状态时间特性探测技术，目的是为了解决毛细管放电Z箍缩获极紫外光的光源技术中，无法获得等离子体状态的时间演变过程的问题。所述探测设备包括M0/Si反射镜、滤光片和X射线二极管；滤光片的透射谱的中心波长为13.5nm；极紫外光入射至M0/Si反射镜，并被M0/Si反射镜反射，然后经滤光片透射后，入射至X射线二极管的探测面。上述探测设备能够实时获取极紫外光辐射时间特性的探测设备。经过这样一个简易的探测设备，即可将由毛细管输出的极紫外光的时间演变过程观测和记录到，适用于毛细管放电Z箍缩获极紫外光的光源。