一种多晶硅切片装置
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本发明属于多晶硅生产技术领域,具体的说是一种多晶硅切片装置,包括切刀、切割模块、刃磨模块和排屑模块,切刀固定在切割模块上;切割模块用于实现切刀的运动,对多晶硅进行切片;刃磨模块位于切割模块上方,刃磨模块用于实现对切刀的刃磨、提高切刀的使用寿命和保证切割的精度;排屑模块位于切刀内部,排屑模块用于在切割过程中将切刀附近的碎屑排出,利于切刀的运动和提高切割的有效性。本发明通过多把刀的连续切割将硅片切断,硅片受到的冲击力小、对硅片的损伤小,同时刀具能够实现刃磨,提高了刀具的使用寿命。

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