数字市场 专利库 一种氮镁共掺杂的p型氧化锌薄膜
一种氮镁共掺杂的p型氧化锌薄膜

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专利申请号：
CN201310066032.7
专利类型：
发明专利
技术分类：
H01S5/327
专利有效期：
2033-03-01
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专利信息
专利名称：一种氮镁共掺杂的p型氧化锌薄膜
商品编号：5069652
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申请日期：2013-03-01
公开/公告号：CN103166112A
授权公告日/公开日：2013-06-19
申请/专利权人： 溧阳***公司
发明/设计人： 钱**
主分类号：H01S5/327
IPC分类号：H01S5/327
说明书摘要免费下载摘要

本发明公开了一种氮镁共掺杂的p型氧化锌薄膜，所述p型氧化锌薄膜中Mg的摩尔百分含量是5-11％，氮的摩尔百分含量是0.8-1.7％；其中，所述p型氧化锌薄膜在常温下，其压电常数d33大于16pC/N，其电阻率大于1.2×1010Ω·cm。

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