制备BiGaO3薄膜材料的气体脉冲序列
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专利申请号：
CN201710579260.2
专利类型：
发明专利
技术分类：
C23C16/40
专利有效期：
2035-11-11
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专利信息
专利名称：制备BiGaO3薄膜材料的气体脉冲序列
商品编号：5155342
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申请日期：2015-11-11
公开/公告号：CN107557756B
授权公告日/公开日：2020-05-26
申请/专利权人：
南**学
发明/设计人：
宋长***晶晶
主分类号：C23C16/40
IPC分类号：C23C16/40; C23C16/455; C23C16/52; C30B25/14; C30B25/16; C30B29/22
说明书摘要免费下载摘要
一种用于制备BiGaO3薄膜材料的气体脉冲序列，由铋前驱体气体脉冲、镓前驱体气体脉冲、氧前驱体气体脉冲、惰性气体脉冲组成，所述气体脉冲序列通入真空反应腔中；化学吸附反应在真空反应腔中进行，铋前驱体气体脉冲、镓前驱体气体脉冲、氧前驱体气体脉冲、惰性气体脉冲按照一定的次序依次通入真空反应腔中。通过采用本发明的制备BiGaO3薄膜材料的方法，可以实现BiGaO3薄膜生长厚度的精确可控，且BiGaO3薄膜表面平整度大大优于现有技术。
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制备BiGaO3薄膜材料的气体脉冲序列专利，专利类型：发明授权，技术分类是：C23C16/40，购买制备BiGaO3薄膜材料的气体脉冲序列专利，需要申请人和发明人的基础信息，还需提供制备BiGaO3薄膜材料的气体脉冲序列专利的详细信息。
专利交易转让时间是多久？
专利权转让期限一般是2~6个月的时间获得专利转让通知书，在转让之前双方需要签订转让合同即可，制备BiGaO3薄膜材料的气体脉冲序列专利具体的操作步骤，可以联系八戒数字交易的客服一对一服务。
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