溶胶凝胶法制备(110)晶面择优生长的高剩余极化强度的BiFeO3薄膜的方法
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专利申请号:
CN201210441407.9
专利类型:
发明专利
技术分类:
C30B5/02
专利有效期:
2032-11-07
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专利信息
专利名称:溶胶凝胶法制备(110)晶面择优生长的高剩余极化强度的BiFeO3薄膜的方法
商品编号:5410997
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申请日期:2012-11-07
公开/公告号:CN103060887A
授权公告日/公开日:2013-04-24
申请/专利权人:
陕西***学
发明/设计人:
谈**
主分类号:C30B5/02
IPC分类号:C30B5/02;C30B29/22
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本发明提供了一种溶胶凝胶法制备(110)晶面择优生长的高剩余极化强度的BiFeO3薄膜的方法,包括以下步骤:以硝酸铋、硝酸铁、硝酸钕和硝酸钴为原料,按摩尔比0.90:1-x:0.15:x(x=0.01~0.03)溶于混合的乙二醇甲醚和***中(体积比3:1),其中铋离子过量5%以补偿薄膜退火过程中的挥发,得到金属离子浓度为0.3mol/L的稳定BiFeO3前驱体溶液;在FTO基片上匀胶后烘干得干膜,然后在550℃逐层快速退火得到所期望厚度的晶态BiFeO3薄膜。本发明设备要求简单,实验条件容易达到,并且可通过精确控制前驱液溶剂比及A-B位共掺杂来制备(110)晶面择优生长的剩余极化强度大于130μC/cm2的BiFeO3薄膜。
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