一种基于氮化硅波导的通信带到中红外超连续谱产生方法
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专利申请号:
CN201611246278.2
专利类型:
发明专利
技术分类:
G02F1/365
专利有效期:
2036-12-29
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专利信息
专利名称:一种基于氮化硅波导的通信带到中红外超连续谱产生方法
商品编号:5435243
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申请日期:2016-12-29
公开/公告号:CN106647098A
授权公告日/公开日:2017-05-10
申请/专利权人:
西安***学
发明/设计人:
惠**
主分类号:G02F1/365
IPC分类号:G02F1/365
说明书摘要免费下载摘要
本发明公开了一种基于氮化硅波导的通信带到中红外超连续谱产生方法,包括有如下步骤:1、通过超短脉冲光源发出重复频率为8‑12MHz,中心波长为1.4‑2.2微米;2、超短飞秒光脉冲经过透镜耦合注入色散平坦的脊形/沟槽混合反向氮化硅波导,氮化硅波导的结构包括设置于硅片上的二氧化硅氧化层,二氧化硅于表面刻蚀形成含有单二氧化硅脊的沟槽;本发明氮化硅波导在结构上采用脊形/沟槽混合结构,使得光场有效面积较小,实现波导的非线性系数相对较大,当高峰值功率飞秒光脉冲进入波导后,发生自相位调制、交叉相位调制、四波混频、孤子频移、色散波产生等一系列非线性过程,最终形成从近红外到中红外波段的超连续光谱。
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