一种化学气相沉积装置

本发明涉及气相沉积领域，具体的说是一种化学气相沉积装置，本发明利用增设的布气管和衬底架，使反应气以分散的形式进入，且气体下落的形态与衬底架吻合，使气体与基体的接触更加充分，提高反应效率；在进行反应时通过转动机构使衬底架旋转，旋转的衬底架不但可搅动反应箱内部气体，促进反应，同时可加大气体与基体的反应面积；在进行基体的取放时可通过密封机构的移动完成，不但方便基体与反应产物的取放，同时密封性能佳，操作灵活、便利；将产生的反应气体通过尾气处理机构进行处理，对产生的尾气进行初步净化，减小对环境、操作人体的危害，提高沉积的安全性能和环保性。