数字市场 专利库 一种低温下制备钽表面钨功能涂层的方法

一种低温下制备钽表面钨功能涂层的方法

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专利申请号
CN201610272362.5
专利类型
发明专利
技术分类
C23C10/36(2006.01)I
专利有效期
2036-04-28
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专利信息
专利名称:一种低温下制备钽表面钨功能涂层的方法
商品编号:5671481
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申请日期:2016-04-28
公开/公告号:CN105714243A
授权公告日/公开日:2016-06-29
申请/专利权人: 厦门***院
发明/设计人: 张**
主分类号:C23C10/36(2006.01)I
IPC分类号:C23C10/36
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一种低温下制备钽表面钨功能涂层的方法,包括以下步骤:S1,将基体表面抛光处理,所述基体包括钽、钽合金或其组合;S2,将抛光后的基体埋入包埋渗剂中反应,其中包埋温度为240‑280℃,保温时间为1‑8h,所述包埋渗剂包括均匀分散的WCl6粉、活化剂和Al2O3粉,且所述包埋渗剂中WCl6粉的比例为30‑50wt.%;S3,保温结束后,清洗包埋后的基体并真空干燥。本发明采用包埋法,基体与包埋渗剂在240‑280℃发生扩散反应,从而制得钨功能涂层。基体与钨功能涂层结合好,具有功能涂层均匀致密的优点,且无需采用高温或加压的方法获得涂层,降低了对设备的要求,适合规模化生产。

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