一种热扩渗设备及定量控制方法
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专利申请号:
CN201910537101.5
专利类型:
发明专利
技术分类:
C23C8/06
专利有效期:
2039-06-20
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专利信息
专利名称:一种热扩渗设备及定量控制方法
商品编号:6038375
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申请日期:2019-06-20
公开/公告号:CN112111704A
授权公告日/公开日:2020-12-22
申请/专利权人:
刘**
发明/设计人:
刘**
主分类号:C23C8/06
IPC分类号:C23C8/06;C23C8/04;C23C10/06;C23C10/04;G06N3/084
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本发明属于热扩渗技术领域,具体涉及一种热扩渗设备及定量控制方法,设备包括壳体,壳体内设有左挡板和右挡板,左挡板和右挡板将壳体的内部空间分隔为从左至右的左腔室、中腔室和右腔室;中腔室内设有隔板,隔板将中腔室分隔为从上至下的扩渗腔室和存储腔室,在热扩渗过程中合金棒材贯穿了左腔室、扩渗腔室和右腔室,合金棒材一端设有旋转推送装置;隔板上设有缺口,存储腔室内设有用于存储渗剂的多槽旋转器,多槽旋转器的下方设有渗剂加热装置。本发明能够对合金棒材进行局部定量的热扩渗掺杂,能够实现梯度掺杂,能够控制渗剂种类、掺杂深度、掺杂浓度和掺杂位置。
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